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技术路线利用脉冲电晕法产生等离子体进行水处理的设备主要分为两大部分：高压脉冲电源和反应器。高压脉冲电源用于产生等离子体；反应器则利用产生的活性物质以及伴随产生的热、光、波等效应来净化水质。应用于水处理的高压脉冲电源其电压脉冲宽度要求在纳秒级。因为高压脉冲放电处理水要求陡前沿、窄脉冲电源系统，这样才能保持稳定地生成低温等离子体，并得到强电场并达到节能的目的。水中高压脉冲放电电压上升时间一般1ns，脉冲宽度7ns。